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半导体行业的创新周期往往非常短。根据摩尔定律,集成电路的复杂度每 12 到 24 个月就会提高一倍。但是,为了进一步推动小型化,全新的制造技术是不可避免的。尽可能高的精度在这里是一个至关重要的先决条件。可重复性、定位精度和控制最小运动的能力同样也是重要的先决条件。可靠性和生产率是其他至关重要的方面。生产通常在洁净室环境(至少达到洁净室等级 ISO 6)中进行 - 并且越来越倾向于在真空环境(另外要求达到 10 或 12 mbar 的工作压力)中进行。考虑到安装情况,驱动器必须被设计得尽可能紧凑。我们提供了将极高的功率密度、高动态性和高精度相结合的解决方案。我们的驱动器可提供最佳的同步运行(即使在真空环境中),从而显著提高吞吐量。


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